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SJ6000機(jī)床精密測(cè)量激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。以光波為載體，其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，是一款高精度、高靈敏度的測(cè)量儀器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000高精度測(cè)量激光干涉儀為機(jī)床機(jī)定位誤差（螺距補(bǔ)償）、反向間隙修正提供依據(jù)。操作人員通過每個(gè)機(jī)床軸的補(bǔ)償值來消除機(jī)床定位系統(tǒng)中的定位誤差。后期通過對(duì)機(jī)床軸的補(bǔ)償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機(jī)床作業(yè)精度。

SJ6000光學(xué)干涉儀對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項(xiàng)參數(shù)檢測(cè)分析、校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)闹匾?，而機(jī)床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時(shí)需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測(cè)量以及動(dòng)態(tài)性能的測(cè)試、分析。從宏觀角度來講，激光干涉儀對(duì)機(jī)床工具產(chǎn)業(yè)乃至整個(gè)制造工業(yè)的升級(jí)，都是功不可沒的。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測(cè)量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

SJ6000激光光學(xué)干涉儀是一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測(cè)量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

中圖儀器激光干涉儀測(cè)量集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。