SJ6000國產(chǎn)便攜激光干涉儀可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量,配以相應(yīng)元件后可以測量角度、線速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等,可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級(jí)的分辨率。它還可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用,環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)。
SJ6000激光干涉儀檢測設(shè)備可以檢測線性、角度、直線度、垂直度等幾何量,可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
SJ6000系列激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,滿足機(jī)床誤差修正的要求。具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
回轉(zhuǎn)軸測量需借助WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),與SJ6000角度測量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上,作為測角標(biāo)準(zhǔn)器,WR50可實(shí)現(xiàn)0~360°的角度測量范圍,±1″的測量精度,轉(zhuǎn)速為10rpm。
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