中圖儀器NS臺階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
NS200國產臺階形貌儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。
NS200國產臺階膜厚儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。
NS系列臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
NS系列微觀表面臺階顯微檢測儀是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸到控制電腦上,使得測量更加直觀。
NS200臺階厚度測量儀能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀。
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