SJ6000納米精度激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優(yōu)點。在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數(shù)控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。

產(chǎn)品功能

1、可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2、可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3、可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；

4、可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

5、可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

6、具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

7、支持手動或自動進行環(huán)境補償。

SJ6000納米精度激光干涉儀檢測集光、機、電、計算機等技術于一體，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式，即：被測運動軸需設定若干個等距的定位點，當運動軸移動到設定的定位點時，需設置停留時間，以供SJ6000測量軟件進行當前點的數(shù)據(jù)采集。

線性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

技術規(guī)格