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中圖儀器NS系列接觸式臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它對(duì)測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉測量檢測儀以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器VT6000共聚焦高分辨率顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測量的檢測儀器?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀3d輪廓薄膜厚度儀應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。它通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器NS臺(tái)階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

NS200國產(chǎn)臺(tái)階形貌儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。