中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學輪廓儀器以白光干涉技術為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸,不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。
中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設備載物臺(XY)局部位移精度和線性精度為亞微米,Z向運動精度可達數納米,線性精度可達亞納米級別。
中圖儀器3d輪廓檢測儀讓輪廓測量價格變實惠,適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、臺階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
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