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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

中圖儀器SJ5800系列二維輪廓儀能實(shí)現(xiàn)對(duì)軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測(cè)量和分析。它具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，測(cè)試軸承內(nèi)外側(cè)?？蛇x軸承夾具和滾子分析，方便測(cè)試。

中圖儀器SuperViewW系列3D光學(xué)檢測(cè)儀器具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。

中圖儀器SJ5800系列精密測(cè)量粗糙度輪廓儀一體機(jī)品牌具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，輪廓和粗糙度一體測(cè)量，無(wú)需切換模塊。

中圖儀器SJ5800系列粗糙度輪廓儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，分辨率高達(dá)0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。

SuperViewW系列3d輪廓儀白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。