SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000激光干涉測量儀在數(shù)控機床精度測量方面,豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測量需求而選擇,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù)。
中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高,扛擾力強,降低了對環(huán)境條件的要求,空氣湍流、熱波動等影響甚微,因此使它不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。
中圖儀器SJ6000機床校準(zhǔn)激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;也可以實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。
中圖儀器激光平面干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點,不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。
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