三維表面輪廓儀是一種用于電力電子工程領(lǐng)域的物理性能測(cè)試儀器??蓽y(cè)量各種精蜜機(jī)械零件的素?cái)?shù)線形狀、直線度、角度、凸度、對(duì)數(shù)曲線、槽深、槽寬等參數(shù)。
該儀器廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電機(jī)、汽車零部件、摩托車零部件、精蜜五金、精蜜工具、刀具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計(jì)量機(jī)構(gòu)、企業(yè)計(jì)量室、車間??蓽y(cè)量軸承、滾針、活塞、閥門(mén)、閥門(mén)、齒輪、滾子、電機(jī)軸、曲軸、圓柱銷、活塞銷、油泵噴嘴、液壓件、氣動(dòng)件、紡織機(jī)械配件等。
三維表面輪廓儀的主要功能有哪些呢?
1、在被測(cè)表面反射率R=4%~100%范圍內(nèi),可獲得理想的真彩色白光干涉圖,干涉圖質(zhì)量不低于國(guó)外同類產(chǎn)品。只有80%的國(guó)外類似儀器被迫停止測(cè)試。
2、測(cè)試各種表面粗糙度,包括:純金屬光滑表面、光學(xué)表面、化合物半導(dǎo)體涂層表面、聚合物和聚合物塑料表面、薄石墨層表面、精蜜機(jī)械表面等。測(cè)試范圍RA=0.001μM至0.2μM
3、將被測(cè)表面準(zhǔn)確調(diào)整到主表面水平內(nèi),表面粗糙度輪廓以輕微色差顯示。這是國(guó)際雜志報(bào)道的利用白光干涉檢測(cè)薄表面和超薄表面的有效方法。
4、使用真彩色白光和黑色干涉條紋移動(dòng),1)恢復(fù)薄膜和基板之間過(guò)渡區(qū)域的3D形態(tài),2)測(cè)試薄膜厚度,3)測(cè)試過(guò)渡區(qū)域的上升陡度。
5、通過(guò)干涉條紋判斷光學(xué)球面的表面加工質(zhì)量。
6、通過(guò)移動(dòng)真彩色白光和黑色干涉條紋來(lái)測(cè)量表面缺陷的深度和寬度。
7、壓電陶瓷疊層PZT用于深度掃描幾十層,以恢復(fù)表面三維輪廓。
三維表面輪廓儀采用非接觸測(cè)量技術(shù),具有亞納米級(jí)測(cè)量精度(在所有放大倍數(shù)下),可以更快更好地測(cè)量各種樣品表面。這是一種回報(bào)率非常高的產(chǎn)品。滿足各種應(yīng)用的需要,包括平面度,粗糙度和波紋度,薄膜和臺(tái)階高度,它幾乎適用于任何材料表面。