共聚焦顯微鏡在光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)測(cè)量中的應(yīng)用

更新時(shí)間：2023-07-21 點(diǎn)擊次數(shù)：539

在當(dāng)前的液晶顯示器行業(yè)，TFT液晶面板因其顯示反應(yīng)速度更快更適用于動(dòng)畫及顯像顯示的特點(diǎn)而得到廣泛應(yīng)用。作為配套組件的背光顯示模組，為其供應(yīng)充足且分布均勻的光源亮度，使得液晶面板的顯像功能能夠正常工作。液晶面板消費(fèi)需求的不斷增長(zhǎng)帶動(dòng)了上游背光顯示模組和作為模組核心材料光學(xué)膜片的大量投產(chǎn)。

光學(xué)膜片作為背光顯示模組的核心材料，其對(duì)光線的匯聚效果決定著背光模組的效能，進(jìn)而直接影響著液晶面板的顯像效果。而光學(xué)膜片對(duì)光線的匯聚效果則是由分布在其表面的陣列微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸所決定，因而需要對(duì)微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)與管控，以滿足設(shè)計(jì)要求和確保最終液晶面板有著良好的顯像效果。

光學(xué)膜片

光學(xué)膜片工件具有尺寸大、輕薄的特點(diǎn)，其重心易受空氣流動(dòng)而產(chǎn)生抖動(dòng)，其表面呈透明反射率低的特征，且微結(jié)構(gòu)有微棱鏡結(jié)構(gòu)、微透鏡結(jié)構(gòu)和金字塔結(jié)構(gòu)等多種類型，均具備較大的傾角特征，整體輪廓尺寸又在微米量級(jí)因而精度要求到亞微米級(jí)。針對(duì)具有四個(gè)測(cè)量難點(diǎn)的光學(xué)膜片檢測(cè)需求，在微納級(jí)檢測(cè)儀器領(lǐng)域面臨著精度夠的角度測(cè)量能力不足、角度測(cè)量能力夠的精度無(wú)法滿足要求的窘境。

作為一家具備多款微納級(jí)3D顯微測(cè)量?jī)x器的廠商，中圖儀器，為光學(xué)膜片的檢測(cè)，提供了專業(yè)的解決方案——VT6000共聚焦顯微鏡，搭配50×、100×高數(shù)值孔徑的APO復(fù)消色差物鏡。在測(cè)量時(shí)由于其基于鏡頭焦深的原理不會(huì)受到樣件本身輕微抖動(dòng)的影響，同時(shí)高倍APO物鏡所具有的大角度測(cè)量能力搭配儀器自身納米級(jí)的掃描分辨率，能夠輕松實(shí)現(xiàn)透明表面微結(jié)構(gòu)的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測(cè)量，在下述視頻中可直觀的了解光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)的測(cè)量過(guò)程。

中圖儀器，贊29

從視頻中可知，中圖儀器共聚焦顯微鏡能夠?qū)鈱W(xué)膜表面微結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化測(cè)量，并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對(duì)表面質(zhì)量進(jìn)行表征，幫助客戶實(shí)現(xiàn)光學(xué)膜片表面質(zhì)量的檢測(cè)與管控。

如下圖所示，在實(shí)現(xiàn)表面微結(jié)構(gòu)3D圖像的高精度重建與測(cè)量的同時(shí)，共聚焦顯微鏡以其明顯優(yōu)于金相顯微鏡的橫向分辨率，也能夠提供表面微結(jié)構(gòu)的清晰影像圖片，幫助更細(xì)致的觀察微結(jié)構(gòu)的表面特征，從圖像可知，在高倍率鏡頭下，棱鏡峰側(cè)壁的刀具磨損紋路痕跡明顯，金字塔頂和底部界限分明，微透鏡表面粒子邊緣清晰。

光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)3D圖像、影像圖

隨著液晶顯示屏在朝著輕薄化、高清化的方向發(fā)展，其核心材料光學(xué)膜片也在往薄型化、高亮度化、高色域化的方向發(fā)展，屆時(shí)其表面微結(jié)構(gòu)的特征尺寸也將更加多樣化和小型化，這勢(shì)必將對(duì)測(cè)量?jī)x器提出更高的要求。中圖儀器，將不斷迭代最新的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，不斷提升VT6000共聚焦顯微鏡的產(chǎn)品性能，始終滿足客戶的測(cè)量要求，為客戶提供*專業(yè)的產(chǎn)品方案和服務(wù)。

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共聚焦顯微鏡在光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)測(cè)量中的應(yīng)用