國(guó)產(chǎn)激光干涉儀作為一種高精度測(cè)量?jī)x器，在科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)和醫(yī)療診斷等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。以光波為載體，利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，建立在激光和自動(dòng)控制技術(shù)基礎(chǔ)上的一種高精度三維測(cè)量系統(tǒng)，主要用于大尺寸空間坐標(biāo)測(cè)量領(lǐng)域。它集中了激光干涉測(cè)距、角度測(cè)量等先進(jìn)技術(shù)，基于球坐標(biāo)法測(cè)量原理，通過(guò)測(cè)角、測(cè)距實(shí)現(xiàn)三維坐標(biāo)的精密測(cè)量。
 

　　儀器主要采用光柵度盤(pán)測(cè)角(相對(duì)增量式測(cè)角)。度盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，光信號(hào)通過(guò)莫爾條紋落在光電接收管上，每轉(zhuǎn)動(dòng)一條光柵，接收管上就相應(yīng)移動(dòng)一個(gè)條紋寬度，接收管中輸出電流變化一周期(光柵夾角已知，利用計(jì)數(shù)器所計(jì)電流周期即可計(jì)算角度值)。
 

　　基本原理：
 

　　激光跟蹤儀由干涉儀/測(cè)距儀與兩個(gè)互相垂直的測(cè)角系統(tǒng)構(gòu)成。通過(guò)雙軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制光線跟蹤反射靶的移動(dòng)，同時(shí)測(cè)得反射靶球的距離及旋轉(zhuǎn)軸的角坐標(biāo)，確定目標(biāo)點(diǎn)三維坐標(biāo)。測(cè)量時(shí)在目標(biāo)點(diǎn)P處放置一個(gè)棱鏡反射球，激光頭發(fā)射并接收反射球返回的激光，儀器便可同時(shí)獲取目標(biāo)點(diǎn)P的儀轉(zhuǎn)角α、儀頂角β和斜距D，即可求得目標(biāo)點(diǎn)P的三維坐標(biāo)。
 

　　激光束通過(guò)分光鏡后，分成兩束激光(參考光束和測(cè)量)，分別經(jīng)兩個(gè)角錐反射鏡反射后平行于出射光返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加(兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件)，產(chǎn)生相長(zhǎng)或相消。反射鏡每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)，將產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象，通過(guò)接收到的明暗條紋變化及電子細(xì)分，即可求得距離變化(距離=干涉條紋數(shù)*激光半波長(zhǎng))。
 

　　國(guó)產(chǎn)激光干涉儀的創(chuàng)新點(diǎn)：
 

　　系統(tǒng)集成化：在硬件設(shè)計(jì)和軟件開(kāi)發(fā)上進(jìn)行了深度集成，使得儀器更加緊湊、便攜和易于操作。新穎點(diǎn)：采用嵌入式處理器和操作系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)智能化控制和數(shù)據(jù)處理，提高儀器的性能和用戶體驗(yàn)。
 

　　自適應(yīng)測(cè)量技術(shù)：：引入自適應(yīng)測(cè)量技術(shù)，可以根據(jù)不同的測(cè)量對(duì)象和環(huán)境條件自動(dòng)調(diào)整參數(shù)和算法，提高測(cè)量的精度和可靠性。新穎點(diǎn)：采用機(jī)器學(xué)習(xí)和人工智能算法，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)學(xué)習(xí)和優(yōu)化，適應(yīng)復(fù)雜多變的測(cè)量場(chǎng)景。
 

　　多通道數(shù)據(jù)采集：；引入多通道數(shù)據(jù)采集技術(shù)，可以同時(shí)采集多個(gè)點(diǎn)的位移信息，提高測(cè)量效率和多點(diǎn)監(jiān)測(cè)能力。新穎點(diǎn)：采用高速ADC和并行信號(hào)處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高精度、高速率和高密度的數(shù)據(jù)采集和處理。
 

　　國(guó)產(chǎn)激光干涉儀在原理、應(yīng)用和創(chuàng)新方面取得了重要進(jìn)展。通過(guò)充分發(fā)揮技術(shù)優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)廠商不斷改進(jìn)和創(chuàng)新激光干涉儀的性能和功能，提高其在科研、工業(yè)和醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用價(jià)值。